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電子級氨基三甲叉膦酸ATMP
Electronic Grade Amino Trimethylene Phosphonic Acid (ATMP)
一、性能與用途
電子級ATMP為酸性液體,具有很強的金屬離子螯合能力,在半導體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝,可以提高研磨效率和光潔度,在顯示面板、PCB板蝕刻加工過(guò)程中使用可以減少毛刺,提高銅箔表面光潔度。
二、技術(shù)指標
項 目 | 指 標 |
外 觀(guān) | 無(wú)色透明液體 |
活性(以ATMP計)/% | ≥50.0 |
單金屬離子/ppb | <10ppb(可根據客戶(hù)需求定制) |
三、包裝與貯存
電子級ATMP用電子級塑料桶包裝,每桶25kg、200kg,可根據客戶(hù)需求定制。貯于室內陰涼處,貯存期為十二個(gè)月。
四、安全與防護
電子級ATMP為酸性液體,操作時(shí)注意勞動(dòng)防護,應避免與皮膚、眼睛等接觸,接觸后應立即用大量清水沖洗。
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